潔凈室檢漏通常采用PAO發(fā)生器在濾器上游發(fā)塵，使用光度計檢測濾器上下游氣溶膠濃度來判定濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因高效過濾器上游塵粒濃度較低，僅用粒子計數(shù)器在不發(fā)塵的情況下檢測，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏，需補充發(fā)塵才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏。當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號的對比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度，因此其用途十分廣泛。

　　潔凈室檢漏的測試方法有：

　　1.DOP法，以光度計檢測，不如粒子計數(shù)法靈敏；

　　2.粒子計數(shù)法，以粒子計數(shù)器作為檢測儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于超高效過濾器；

　　3.最易穿透粒徑法（MPPS），采用粒子計數(shù)器作為檢測儀器，使用的氣溶膠同時，與粒子計數(shù)法的區(qū)別是，以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑；

　　4.鈉焰法，此法采用火焰光度計，對NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng)，靈敏度低，且NaCl對微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害國外已不用。

　　潔凈室檢漏安裝后的檢漏方法有光度計法和粒子計數(shù)器法。光度計法一般用于帶小型空氣處理系統(tǒng)的潔凈室或安裝有氣溶膠注入點的管路系統(tǒng)，可達到規(guī)定的高濃度測試氣溶膠；由于粒子計數(shù)器法的靈敏性好和污染少，一般都采用粒子計數(shù)器法進行高效空氣過濾器安裝后的檢漏。